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Maskenlose Lithographie: Nur bei STMicro ist sie schon Realität - EDNwww.edn.com › electronics-news › maskenlose-lithogr...

www.edn.com
Jan 26, · Kars Troost, Projektmanager bei ASML, beschrieb ein Prototyp-System mit einer Wellenlänge von 193 Nanometer, das pro Stunde fünf ...

SEMATECH Meeting Identifies Challenges to Maturing Maskless...

phys.org
ASML Product Manager Kars Troost described a prototype system using 193 nm wavelength to produce five 300 mm wafers per hour at the 65 nm and 45 nm nodes.
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